二手 VEECO / EMCORE E300 #293744722 待售
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VEECO/EMCORE E300是一種緊湊、獨立的電子束蒸發反應器，用於反應性蒸發、遠程沈積和濺射過程。該反應堆專為半導體和分析工業而設計。VEECO E300是一種高性能反應堆，具有高薄膜生產能力。它建立在一個獨特的，全場磁控管濺射設計，確保均勻的材料沈積。該反應堆還采用VEECO專利的QPA Zone™技術，對溫度、氦氣壓力和功率等工藝條件進行精確控制。這使操作員更容易監視和分析您的沈積過程。EMCORE E300具有可容納各種工件的大腔室。其設計最大限度地利用了表面積，創造了更好的薄膜沈積均勻性。E300寬敞的工作區還允許用戶快速改變氣體，實現進程之間的快速過渡。此外,VEECO/EMCORE E300還具有用戶友好的設備,可讓操作員輕松監控、調整和定制流程。該系統還可以與VEECO/EMCORE IonBeam™ Unit、VEECO MassSpec™ Machine和EMCORE Monitor Tool等其他EMCORE系統集成。這為精確沈積和分析創建了一整套工具。對於其蒸發操作，VEECO E300可用於反應薄膜生長過程，如二氧化鈦、氧化氙和氧化硼沈積。位於反應器內部的蒸發源可以循環開啟和關閉，以適應不同類型的薄膜沈積過程。反應堆還采用一鍵交鑰匙工藝，提供快速周轉和最優工藝參數。EMCORE E300還采用了真空互鎖和低噪聲排放等創新的安全功能。E300反應堆是一種功能強大、用戶友好的工具，能夠為廣泛的應用提供精確的濺射和沈積過程。其高效的材料覆蓋範圍和精確的控制，使其成為半導體和分析行業的理想選擇。
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