二手 VEECO / EMCORE E300 #9265825 待售
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VEECO/EMCORE E300反應堆是一種半導體過程增強沈積系統，旨在適應沈積技術的最新進展。它是一個模塊化工具平臺，具有完全集成的模塊化硬件，支持包括物理氣相沈積（PVD）、電子輔助PVD（e-PVD）、等離子體增強原子層沈積（PEALD）和化學氣相沈積（CVD）在內的廣泛過程。模塊化硬件包括大量生產的模塊化腔室、大量選擇的內部離子束源以及廣泛的高能、高電流的工藝源。它還包括用於可靠、高性能過程控制的先進氣體和過程控制系統。VEECO E300反應堆支持熱沈積和電子束驅動沈積，以及現場監測和控制線路末端薄膜。它的體系結構允許同樣快速的流程啟動時間以及準確的現場流程控制。這對於制造高端設備至關重要,在高端設備中,精確控制電子有源薄膜會對設備性能產生重大影響。此外，EMCORE E300反應堆具有先進的等離子體控制能力，包括向底物輸送低能氧氣或氮氣等離子體的能力。系統還可以執行步進/閃光光刻和升空，並支持尺寸不超過200毫米的基板和晶片。此外，E300反應堆還配備了一整套光學觀察功能，包括高分辨率、高清環境顯微鏡。這為用戶提供了薄膜成形的實時成像,從而改進了薄膜特性和/或過程監控。VEECO/EMCORE E300提供了極佳的熱均勻性和與幾乎所有工藝氣體的兼容性,非常適合生產高質量、高縱橫比的薄膜。所有這些因素相結合，使VEECO E300先進薄膜工藝集成的首要解決方案之一。
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