二手 VEECO / EMCORE E300 #9265827 待售
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VEECO/EMCORE E300是一種高性能的外延反應器，用於生產各種半導體材料和器件。VEECO E300是一種高效的沈積設備，可用於廣泛的過程。它具有經過優化的高級設計,可實現高吞吐量和低擁有成本。EMCORE E300是單晶片、高溫、低壓化學氣相沈積反應器。其中央腔室為圓柱形真空室，底部裝有高溫加熱元件。E300可以達到1000°C的溫度，並且在這個室內的壓力可以達到10 Torr。它是為了廣泛的成分的沈積而設計的，包括矽、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的。中央腔室設有多個源端口，允許腔室內氣體層流，增強沈積在晶圓表面的層的均勻性和質量。VEECO/EMCORE E300還包括一個高性能的多通道氣體輸送系統，該系統允許多個氣體同時被泵入室內，同時具有良好的工藝控制。VEECO E300還能夠容納多個晶片，其可調晶片到源距離可達4英寸。EMCORE E300還配備了直觀的控制臺和綜合控制單元,可提供卓越的控制精度。這使用戶能夠精確調整加工反應溫度和氣體的混合物，以產生優異的器件性能。此外,E300還配備了一個自動流量控制機,該機使用快速響應PID控制器,可在需要時不斷監控每個參數並調整氣體的流量。總體而言，VEECO/EMCORE E300是一個卓越的外延反應堆，提供卓越的性能和可靠性。它旨在滿足最先進的半導體生產應用的需求，以較低的擁有成本提供成功的沈積工藝。
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