二手 VEECO / EMCORE E300 #9265829 待售
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VEECO/EMCORE E300是為化學氣相沈積應用和其他類型的外延沈積而設計的反應器。該反應堆能夠從各種化合物中產生廣泛的高純度材料。VEECO E300反應器是一種惰性水平管式反應器，由不銹鋼和其他能夠承受高溫的材料制成。反應堆內部由外部空氣密封，防止汙染。它有一個加熱的感受器，或柚子，材料沈積。感受器可以加熱到高溫。它還配備了獨特的真空源。可將步進掃描質譜儀連接到該反應堆，用於監測反應過程。EMCORE E300在半導體的制造中有廣泛的用途，如砷化的、磷化的、III-V化合物、碳化矽和類似材料。它具有低汙染設計，使這些材料能夠以純形式生產。E300的電容耦合等離子體（或CCM）方法允許精確控制沈積過程，其靈活的幾何構型允許厚膜沈積。VEECO/EMCORE E300提供了較高的加工率,從而提高了生產率。其設計允許優化材料層生長、表面鈍化和蝕刻等過程。它還可以消除粒子侵蝕效應。反應堆包括高效冷卻，以盡量減少產品的過熱和熱破壞。它配有診斷監測系統，可有效控制沈積過程。反應堆還包括氮輸入，這有助於確保沈積過程中的清潔、惰性環境。VEECO E 300對材料沈積所涉及的參數和工藝的精確控制使其非常適合於高純度化合物的制造。它操作簡單，精度高，也適合研究。沈積過程中使用的所有參數都可以實時調整和監控，從而實現優化的質量控制。
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