二手 VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030 待售

ID: 9155030
MOCVD systems MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 ) CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1 Epison III x 2 for TMIn Currently de-installed 2000-2001 vintages.
VEECO E400 GoldAs/P是半導體工程中用於薄膜加工和沈積的先進反應器。這種As/P反應堆旨在為各種材料(包括有機和無機薄膜)提供高性能和經濟高效的處理。As/P反應堆為四面石英管,設有兩級可編程平臺。石英管的四面各由感應線圈加熱,允許精確的溫度控制和均勻性。平臺第一級由三個主要部件組成,分別是底部石英屏蔽、中間石英屏蔽和石英襯裏。底部的石英屏蔽層保護腔室,使其免受感應線圈產生的熱量的影響,而中間的石英屏蔽層則保護襯裏免受燃氣的影響。石英襯裏是平臺的第二級,由一組石墨爐電極組成,每個電極通過一組電線與電源相連。石墨爐電極能夠以更均勻的方式更有效地沈積薄膜。E400 GoldAs/P還配備了一個自動脈沖發生器,可以編程為向感應線圈提供各種串聯脈沖序列,用於薄膜的沈積。此功能消除了電源的任何手動設置,進一步提高了機器的效率和準確性。此外,E400 Gold As/P配備了內置攝像頭系統,用於觀察和監測沈積過程,並為任何需要的調整提供實時反饋。E400 Gold As/P是一款功能強大、用途廣泛的系統,旨在滿足各行業的需求,包括半導體、微電子、化學、光學器件制造。廣泛應用於研發實驗室,以及生產設施,因其生產優質薄膜的能力。該機器的可編程平臺進一步使其能夠用於廣泛的應用,包括氧化物和氮化物沈積、金屬膜沈積、LED制造、MEMS制造以及許多其他工藝。E400 Gold As/P提高了效率、準確性和質量,使其成為當今工業應用的理想選擇。
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