二手 VEECO / EMCORE E400 #293641830 待售

VEECO/EMCORE E400是一種緊湊的低能等離子體反應器，設計用於廣泛的薄膜沈積應用。VEECO E400是光電子學和納米技術研究及制造領域的理想的薄膜沈積平臺。EMCORE E400獨特的幾何形狀包括一個圓柱形的目標腔室，其中嵌入了一個單一的低壓低能點等離子體源。反應堆是專門為快速、低溫處理各種材料而設計的，從簡單的氧化物到復雜的有機分子。E400可以處理高達幾毫噸的壓力，並處理高達每分鐘7標準立方厘米（sccm）的氣體。VEECO/EMCORE E400具有多項先進技術,如主動源/基板匹配（AS/SM）和數據記錄/監視（D/M）,可對沈積過程進行精確控制和分析。AS/SM確保基板均勻加熱，而D/M提供過程參數的瞬時診斷，從而實現質量控制和過程開發。VEECO E400還可以集成到定制的自動沈積系統（ADS）中,從而允許在各種基板上自動、高通量地沈積薄膜。EMCORE E400反應堆非常靈活，非常適合小批量生產和大規模生產運行。它能夠只需單擊幾下鼠標即可進行調整，從而便於快速處理任何沈積基板。E400可以配置各種組分，以滿足任何特定應用的確切沈積要求，如高溫底物、低壓氣體和揮發性化合物。簡而言之，VEECO/EMCORE E400是一種先進、靈活和緊湊的等離子體反應器，設計用於光電子學和納米技術研究與制造中的各種薄膜沈積需求。其嵌入圓柱形目標腔室的低壓和低能點等離子體源提供精確的過程控制，而其配置有多種組件的能力則可實現定制沈積要求。VEECO E400是小批量和大批量生產運行的理想選擇。