二手 VEECO / EMCORE E400 #293641832 待售

VEECO/EMCORE E400反應器（又稱化學氣相沈積設備）是一種高溫、超高真空水平沈積系統，能夠產生高質量的高溫等應用的多晶和非晶薄膜。它是一種多功能裝置，具有反應性離子蝕刻工藝，可在介電層中產生蝕刻圖樣，以及用於非晶層的快速熱退火工藝。VEECO E400具有一個4英寸的晶片卡盤和一個20英寸的鋁制腔室以及多軸Kenics的沈積源進料。反應器內部的壓力是可調的，滿足超高真空沈積過程的要求。反應堆還包括帶有機械快門、旋轉樣品模塊和自動濺射機的預沈積選擇。此外，EMCORE E400還配備了離子能源，以便在沈積和蝕刻過程之前清潔和激活底物。E400反應器設計用於沈積超級導體和其他高溫材料。沈積源能夠在高達400°C的溫度下工作。VEECO/EMCORE E 400的設計是專為生產沈積溫度低的非常薄的材料層而設計的，以確保最高的工藝重復性。離子能源每秒可提供三次離子轟炸，最大電流為1-10mA。VEECO E400是一種超高真空工藝，具有卓越的工藝控制性能。具有沈積多種薄膜材料的能力，從多晶、無定形到超級導體。資產易於操作、可重復性和準確性使其非常適合用於研究和商業應用。EMCORE E400可以處理各種基材尺寸和材料，包括玻璃和石英，用於制圖和高溫光學薄膜的沈積。通過添加射頻選項以及自動的預清洗和後清洗模塊,可以進一步定制模型。