二手 VEECO / EMCORE E400 #9017783 待售

VEECO/EMCORE E400是一種反應堆，設計用於半導體加工等行業。它是一種高分辨率電子束（e-bame）設備，能量範圍高達400 kV，電流範圍高達20 mA。該系統配備了全方位的應用特異性處理，其精確度為擴散、植入、濺射和塗層應用需求提供了優化的解決方案。VEECO E400可用於各種角色設置,包括用於生產和研發的配置。該單元的核心部件包括200毫米或300毫米的工藝室、真空機、大功率電子束柱、氮化​​的氙（GaN）電子槍、場發射陰極和束電流測量工具。資產高度可配置,支持多種應用組合,如摻雜劑和重新沈積技術,以及超高分辨率成像。EMCORE E400在電子束處理方面提供了無與倫比的精確度,其光源亮度比競爭系統高四倍,穩定性大大提高,因為它的自校準電子束能夠準確快速地提供單步和多步過程所需的能量和強度。該特征與模型的主動和無源光束電流控制相結合，可產生精確的光束輪廓和出色的覆蓋精度。該設備還具有先進的高對比度成像功能,可用於多種SEM/STEM成像模式。該系統也非常可靠，硬件和軟件設計用於在性能有差異時對操作員進行自我監控和警報。安全功能包括可編程的電源閾值和冗余冷卻單元。其他用戶友好的功能包括電源控制菜單和遠程控制訪問,允許人員遠程控制和監視機器。總體而言，E400是一個高精度的電子束反應器，提供精確的過程控制和廣泛的應用範圍。其無與倫比的易用性和卓越的準確性使用戶能夠產生高質量的流程結果,這些結果可以根據客戶的需求進行定制。