二手 VEECO / EMCORE E400 #9029117 待售
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ID: 9029117
MOCVD System
Configured for GaN process
E400 As/P
GaAs: 42" x 2"
(7) MO Source lines
Sources: TMIn-1, TMAl-1, TMAl-2, TMGa-1, TMGa-2, DETe, Cp2Mg
Hydride source line: AsH3, PH3, Dopant A
Epison III for TMIn-1.
VEECO/EMCORE E400反應堆是一種先進的化學加工裝置,用於包括摻雜、蝕刻和沈積材料等多種過程。VEECO E400可用於各種工藝,從基於半導體的應用,如BOSCH、CVD和離子植入,到材料的沈積,如金屬和氧化物。EMCORE E400是一個快速高效的反應堆,吞吐量高,周轉時間大,工藝質量一流。E400具有專利的多室設計,允許以極高的效率和低熱預算完成最高風險的過程。這種反應堆設計也容易向上或向下縮放,使得它可以用於廣泛的過程。VEECO/EMCORE E400有一個板載熱級石英蓋,支持等離子體和熱處理。它還配備了先進的真空技術,能夠精確控制工藝室。此外,VEECO E400反應堆配有可調高溫能源,可控制材料沈積。一種先進的氣體歧管設備,可以方便地進行快速改變,並提供準確和受控的氣體流動。該反應堆裝有可靠、自動化的材料輸送系統,使用簡單,效率高。它還具有一個可靠的溫度控制單元,可以精確調整加工條件,而不會造成昂貴的排放或停機。EMCORE E400配備了一個直觀的人機交互接口,可以方便地操作設備。E400配備了高級數據記錄和分析軟件,可幫助用戶評估其處理結果並檢測潛在的處理問題。這一特性有助於使VEECO/EMCORE E400一個可靠和一致的反應堆,能夠產生一致和可重復的高質量結果。一般而言,VEECO E400是一種先進有效的反應堆,非常適合基於半導體的應用。它是一個集高效、精確控制和可靠性能於一體的多合一單元,具有強大可靠的用戶友好界面。EMCORE E400是任何希望優化其生產和加工結果的化學加工機的寶貴組成部分。
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