二手 VEECO / EMCORE E400 #9302576 待售

VEECO/EMCORE E400反應堆是一種通用反應堆工具，設計用於各種薄膜生長應用。這種反應堆是一種垂直導向的系統，具有卓越的性能水平，能夠支持包括成型、蝕刻、材料沈積和退火在內的多種應用。其獨特的設計特點是上部由三個熱區組成-高溫區（通常為250-600°C）、中溫區（通常為100-400°C）和低溫區（通常為50-300 °C）。這些區域相互獨立，提供精確的溫度控制，並允許在進行較高溫度過程的同時發生低溫過程。反應堆具有獨特的對稱法蘭型載荷鎖定設計，允許不同的基板尺寸和源與基板之間的相對運動。這增加了工具的靈活性，允許在非方形基板上沈積薄膜，如衛星或其他圓柱形基板。VEECO E400的雙托架設計允許更大程度的流程靈活性,因為可以同時執行更多的流程,而不會犧牲性能或生產率。EMCORE E400還具有廣泛的工藝室功能，包括低壓/高壓高功率、低壓/高壓閃光燈、直流（直流電）和射頻（射頻）濺射沈積、電離物理氣相沈積（iPVD）、金屬有機氣相沈積（MOCVD）其新的熱再包裝功能允許在各種過程中更快地沈積材料。此外，該反應器的快速氣體壓力變化率大於1000 Torr/秒，提供了高質量的工藝結果。E400反應堆是一種高端、功能強大的工具,非常適合開發需要大面積基板、高精度薄膜沈積、提高材料吞吐量或高功率的下一代產品。其先進的熱管理和統一性、多區域靈活性、高吞吐量、低溫兼容性和高功率功能使其成為許多性能或效率優先的應用程序的有吸引力的解決方案。