二手 VEECO / EMCORE E400 #9395073 待售
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VEECO/EMCORE E400 Reactor是一種先進的半導體制造工具，用於創建各種不同的光子集成電路。它通常用於半導體光放大器、馬赫-贊德幹涉儀、DFB激光器等復雜光子集成電路的設計和生產。VEECO E400 Reactor能夠生產多達300毫米晶圓，使其能夠用於生產VCSEL和HD-LED等小規模光子器件。EMCORE E400 Reactor利用多區多級工藝，涉及超高真空、光刻、嵌入式沈積和反應性離子蝕刻系統。這允許精確控制薄膜層的沈積和結構的蝕刻。E400反應堆能夠產生高達0.25 μ m的精細特征和高達10：1的特征長寬比。VEECO/EMCORE E400反應堆利用各種來源和探測器，確保從金屬到電介質，生產中使用的所有材料的沈積最準確。該系統包含四個產生寬帶紫外線曝光的柱式石英燈，而19個紫外線激光二極管用於提供高精度圖樣的線掃描成像。激光二極管還允許多層同時曝光，允許多光子器件的高速率工業生產。VEECO E400 Reactor還包含一個用於薄膜材料CVD型沈積的氣體註入系統。這樣可以精確控制沈積過程，並確保達到一致的薄膜性能。EMCORE E400 Reactor還包含一個高速渦輪機，用於快速蝕刻基板表面以創建高長寬比特征。總體而言，E400反應堆是一種先進的工具，能夠精密生產各種光子集成電路。它非常精確，擁有專有的來源和探測器，可以精確沈積薄膜，而高速渦輪機提供材料的快速蝕刻。這種最先進的工具能夠以高精度和高速度的工業規模生產各種光子集成電路。
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