二手 VEECO / EMCORE E450 #9255825 待售

VEECO/EMCORE E450反應堆是一種高功率、緊湊、多合一的沈積設備，能夠沈積需要高溫或高能處理的材料薄膜。它具有完全可編程、高性能和緊湊的反應器，適用於MOCS、IBAD、RF/DC磁控管濺射和AES/PECVD等多種沈積技術。VEECO E450還與液氮（LN2）、氫/氦混合物、流動氫/氦混合物、氫/氦蒸發器等各種氣源兼容。EMCORE E450專為一致性和高速率處理而設計。它具有高性能的直接陰極離子源（DCIS），能夠輸送高達20 keV的離子能。它還有一個功率高達25千瓦的雙頻磁控管濺射源。集成的高性能質量流控制器和主從運動控制器可實現精確的過程控制,並具有生產均勻薄膜所需的功率和精度。E450的緊湊性使得它非常適合在密閉空間中的各種過程。它的占地面積小，不到下一個系統尺寸的一半，總負荷重量僅為570磅，還設有一個高級安全單元，監控溫度、壓力和其他機器變量，如果這些變量中有一個超過安全極限，將關閉工具。VEECO/EMCORE E450非常適合研發、原型制作和高速率生產。它提供精確的過程控制，其高速率沈積能力使其成為大容量應用的理想選擇。VEECO E450具有許多功能,可實現一系列高性能薄膜工藝。它可以涵蓋各種各樣的應用，如顯示器、光學、半導體和MEMS設備。它集成的電源和控制系統使得操作方便，可以快速設置。