二手 VEECO / EMCORE E450 #9255826 待售

VEECO/EMCORE E450是一種用於晶圓加工的水平熱壁RIE（反應性離子蝕刻）反應器。它能夠處理4英寸、6英寸和8英寸的晶圓。VEECO E450有一個自動晶片處理設備，可以快速裝卸晶片，並將晶片精確地放置在反應堆室內。腔室的最低溫度為25°C，允許在蝕刻過程中進行精確的溫度控制。EMCORE E450具有金屬管結構,設計用於雙型外殼,具有惰性（非反應性）氣體凈化環境,允許蝕刻各種材料,且汙染風險最小。該反應堆設計為以多種氣體運行，包括O2、Ar、SF6、Cl2、BCl3和組合氣體。低顆粒汙染允許生產高產量和產品質量的IC微芯片。該系統設有下遊氣體輸送裝置，確保穩定輸送高純度反應性氣體和加工氣體。基板配置允許各種工藝參數,如壓力、流量、溫度、氣體混合和功率,以便針對所需的應用優化蝕刻工藝。E450還擁有VUV（真空超紫羅蘭）和RF（射頻）電源,可精確控制工藝條件,保證晶片與晶片的良好均勻性。VEECO/EMCORE E450是一種可靠而堅固的反應堆機器，設計用於蝕刻各種底物，包括矽、矽酸鹽和聚合物。它提供了符合高性能標準的可靠結果,確保了清潔和精確的蝕刻。反應堆是一個方便用戶的工具，為快速設置提供了一個簡單的用戶界面，並為工藝優化提供了可編程參數。全面，VEECO E450是一個可靠而強大的資產，使其成為生產半導體器件制造的絕佳選擇。