二手 VEECO / EMCORE E450 #9283634 待售

VEECO/EMCORE E450反應堆是一種專門的工具，用於將單層和多層薄膜沈積在基板上，以便在電子和光電工業中進行各種應用。它代表了當今最先進的市售低壓化學氣相沈積（LPCVD）設備，使其成為先進薄膜加工和材料工程的強大工具。VEECO E450反應堆裝有一個自動Quartz船組件，最多可裝載12個尺寸可達4 「x 6」的單獨基板，或一個4 「x 12」基板，每個基板位置調整以達到最佳厚度和沈積均勻性。電加熱元件可實現精確的溫度控制,另外還有四個加熱區可用於高級應用程序特定的處理。反應堆能夠在不到40秒的轉換時間內批量運行或連續運行，還允許用戶根據需要定制其過程，而無需更改過程參數。反應堆由一個專門的軟件程序控制，能夠同時存儲多達五個不同的配置文件。準確的沈積速率、溫度和壓力範圍都可以進行調整，以達到預期的效果，有多達四個沈積源可用於最終操縱沈積薄膜的性能。該軟件還允許實時監測沈積過程，並收集各種過程數據以供審查。EMCORE E450反應堆還設計了多種安全特性，包括過溫和過壓檢測系統，以及自動清除功能，以確保在運行過程中對反應性氣體的妥善處理。真空裝置還包括一個油霧濾清器，以額外保護免受汙染，而機器是設計用於通過一個簡單的清潔程序最小的維護。該反應堆也符合RoHS標準，符合最新的國際安全標準。簡而言之，E450反應堆是一種功能強大且先進的薄膜沈積工具，可提供卓越的溫度和壓力控制，以及各種特定於應用程序的處理選項，以使用戶能夠達到預期的效果。反應堆的軟件驅動控制工具和安全特性使其成為任何尋求可靠和精確薄膜沈積的電子或光學制造商的一個有吸引力的選擇。