二手 VEECO / EMCORE E450 #9394988 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9394988
優質的: 2008
System
Process: GaAs
Product: GaAs LED (Red and yellow)
Config: TMAl, TMGa, TMIn, AsH3, PH3, Mg, Si
Spare parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 1092679 / 50x2" Pockets wafer carrier
(1) / 1090650 / 13x4" Pockets wafer carrier
(1) / 1090581 / 21x3" Pockets wafer carrier
(5) / 1091270-1016-D-B / MFCs 30 SLM
(3) / - / PLC Control circuit boards
(4) / - / Filters
(1) / 1003794 / Heater base E400
(1) / 1016491 / Baffle EII
(1) / 1003780 / E400/E300 Spindle
(1) / 1016306 / Bottom heat shield EII
(1) / 1016307 / Top heat shield, EII
(1) / 1029697 / E450 Filament, outer
(1) / 1005630 / E400 Filament, middle
(1) / 9406E01 / ISOI00 Turbo pump
(1) / 1005552 / -
(1) / 1022551-1003 / E450 Screen diffusion, (2) Port photo ETC
(1) / 1022549 / Ring reactant level
(4) / 1003641 / Outer ring segment 9400 Flow flanges
(1) / 1002115 / VlV Gate pneu, 4"
(1) / 1016457 / E11 Susceptor moly
(3) / 1084355 / MKS 1000T CT27 Baratron, DNET
(4) / 1004766 / Feed through linear motions, 2.75 modification
(1) / 1003932 / Graphite bushing assembly
(4) / 1094048 / Bracket mounting holy shutter
(7) / 9472E01 / Control SSP, 15 Amp, 200-240 V
(8) / 1016309 / 9400 Heater support
(1) / 1013965 / k400 Heater support
(6) / 1005612 / Electro particle shield
(1) / 6403E02 / Fuse sub mini, 3A
(2) / 1003680 / MKS 1000 Torr
(1) / 1026320 / Drive motor, 1/3 HP, 180V, CDP3316 Baldor
(4) / 1004103 / E400 Baffle support
(2) / 1016308 / Electrode connector block outer heaters
(4) / 1003039 / Gaskets silver, 2.75 inch
(2) / 10446 / Gasket Cu Gr, 2.75 x 20.0 Belo/Bon
(4) / 1015365 / VCR Filter, (20) Microns
(24) / 1017391 / Screws
(24) / 6030E01 / Screws
(16) / 6099E03 / -
(16) / 1017391 / Screws
(6) / 6030E04 / Screws
(1) / 1084220-1002 / Screw
(16) / 1084220-1003 / Screws
(6) / 1017392 / Screws
(3) / 6045E01 / Screws
(1) / 6012E02 / Screw
(8) / 6094E03 / Washer locks
(1) / 1022820 / O-Ring, 30"
(1) / 1025867 / O-Ring
(1) / 1084972 / E450 Reactor insert holy
(1) / 10447 / Gasket
(1) / 1002703 / Ball valve, 4"
2008 vintage.
VEECO/EMCORE E450 Reactor是為薄膜和半導體材料的沈積過程而設計的表面安裝設備。它以3.3 kW電子束槍和5.5 kW射頻源為標準配置。VEECO E450提供了廣泛的操作參數，包括功率範圍在0.2至800 W之間，底物溫度範圍在20至400攝氏度，腔室壓力在10-6至10-7 mbar。射頻等離子體源創建了對薄膜沈積過程的控制，並且具有最高的可用於薄膜生長的頻率。它提供超高真空質量，超過國際標準。此外,EMCORE E450最近采用了一種新的PC控制系統,可提高操作效率並降低維護成本。利用先進和增強的元素，E450可用於各種應用，包括快速熱處理、光刻、化學氣相沈積、濺射和薄膜沈積。此外，這種反應堆模型非常靈活，因為它可以配置多個腔室，用於各種工藝開發。該系統還具有無限的程序存儲能力、真空數據的實時顯示、循環排序能力和圖形用戶界面。VEECO/EMCORE E450 Reactor是一個高效且用戶友好的解決方案,它通過減少對多臺不同技術的機器的需求將成本降至最低。其先進的設計和靈活的功能使其成為一系列應用程序的理想選擇,並允許快速的周轉時間。直觀的控件為用戶提供了對過程參數的精確控制，使其成為研究和生產的理想工具。隨著VEECO E450反應堆的推出，用戶可以期待提高生產率和可靠性，同時降低成本和能耗。
還沒有評論