二手 VEECO / EMCORE K465 #293768283 待售
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ID: 293768283
優質的: 2007
MOCVD System
(2) Heat exchangers
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465反應器是一個通用的固體源分子束外延（MBE）平臺，用於半導體薄膜沈積和材料表征。該設備設計用於研究和開發先進的復合半導體器件，例如光子集成電路和激光二極管。VEECO K465可配置為單一源的標準系統，也可配置為具有兩個或更多個積液單元的高級平臺，以及質量流量控制器、氣體輸送單元和排氣/凈化模塊等支持組件。標準版的小腔室尺寸為14英寸乘14英寸，最大壓力為1E-7 Torr。腔室組件采用不銹鋼和UHV級CF法蘭制成，以確保超高真空應用的優異性能。腔室底部有擋板，以容納分子通量，減少氣體對樣品的對流。加熱元件以陶瓷襯裏不銹鋼制成的嵌入元件為基礎，溫度範圍為25°C至1000 °C。該腔室是為最大限度地利用可用空間進行樣品裝載而設計的，並配備了自動化的四位取樣裝載機和旋轉木馬機。EMCORE K465平臺還設計用於處理不同的反應性氣體，並且可以安裝VEECO專有氣體輸送工具，以安全、精確地控制氣體和流動。使用雙源選項,用戶可以選擇多個源材料,並對它們進行獨立配置以用於共沈積和拆分模式。流程控制系統是為自動化優化和監控而設計的。獨特的質量流和分壓控制（MPPC）資產提供精確的控制：這確保了工藝速率的穩定性,並消除了頻繁校準的需要。該模型還配備了光學和X射線診斷能力，用於測量腔內的光學特性和半導體外延層生長。光學激光設備具有改進的空間分辨率和光譜分析，用於測量ALD（原子層沈積）薄膜厚度和折射率。其他先進技術如拉曼和VUV發射光譜技術可用於分子層沈積的基本研究。氮氣回填裝置確保系統安全，避免空氣和氧氣汙染。K465反應堆的建造是為了容納各種不同的底物，包括晶圓、陶瓷板和褶皺容器。MBE工具可靠、高效,為各種復合半導體材料應用提供卓越的性能。
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