二手 VEECO / EMCORE K465 #293768292 待售
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ID: 293768292
優質的: 2007
MOCVD System
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465是一種高效率的、為III-V和II-VI材料等復合半導體外延生長而設計的超細膜反應器。它配備了先進的過程控制和監測系統，允許精確和可重復的沈積過程。VEECO K465采用閉管設計，提供快速生長的環境，汙染最小，導致光學和電氣上層位錯較少。它還設有一個在沈積過程中保持清潔工藝室氣氛的抽水設備和一個氣體歧管，用於精確控制室內的壓力和流量。EMCORE先進的工藝控制系統K465通過自動化底物溫度、工藝壓力、氣流等參數的訓練和設置，簡化沈積工藝。這確保了更高水平的可重復性，即使在使用不同的底物或氣體時也是如此。該裝置還能夠實時監測薄膜沈積速率，從而實現更好的工藝控制和優化效果。K465反應器提供了良好的過程均勻性和可重復性，從而形成頂級外延生長層。它具有很高的安全殼容量，占地面積很小，非常適合空間有限的實驗室。多個反應室也可並行使用，以提高吞吐量。此外，VEECO/EMCORE K465以其較低的運營成本和能耗提供了非凡的價值。先進的過程控制機器導致了快速一致的過程循環，導致了較少的過程重復和較低的能耗。高可靠性和一致的結果還可以最大程度地減少停機時間並實現擴展操作。VEECO K465旨在為高吞吐量工業應用提供可靠的外延增長。它是制造復合半導體材料和器件的理想工具，是研究和工業應用的重要資產。
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