二手 VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276 待售

VEECO/EMCORE K465i GaN（氮化氙）反應堆是一種專門的反應堆，旨在使研究人員能夠利用化合物的獨特和有益特性進行實驗。K465i反應堆可有效沈積高質量的III-V氮化物復合材料層，用於各種裝置應用。它配備了優化的工藝控制能力，使研究人員能夠提高材料沈積產量和沈積速率，同時減少壓力，更好地控制工藝。K465i反應堆采用兩級或三級構型建造，采用30厘米寬、5厘米高的環狀反應室。這使得它可以使用感應耦合等離子體（ICP）或直流磁控管濺射技術來支持廣泛的工藝應用。此外，該K465i還配備了高效氣體輸送系統和反應性氣流控制的革命性組合，可實現精確的過程控制。K465i獨特的設計為研究人員提供了高質量的材料沈積速率和均勻性以及最小的材料應力。這種反應器由於其優化的層，可以達到20納米以下的特征尺寸。此外，研究人員能夠通過使用其專有的高級工藝控制包來微調工藝配方並保持工藝穩定性。該K465i還提供了前所未有的流程自動化和流程監控級別。板載診斷套件提供了對室內環境的洞察力,而綜合軟件包允許可重復的過程和自動化的過程控制。這些工具可用於最小化開發完整流程所需的時間。K465i反應堆是唯一一個提供在氮化物III-V材料中發現的廣泛研究和應用的市售反應堆。利用先進的控制、自動化監控和優化的氣體輸送系統，這種先進的反應堆是研發創新氮化物材料半導體器件的理想選擇。