二手 VEECO / EMCORE K465i #293585751 待售

製造商
VEECO / EMCORE
模型
K465i
ID: 293585751
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 2010
MOCVD System, 4"-6" Process: GaN 2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i是一種用於高性能生產先進材料的Giga-Parsec™反應堆設備。該系統高效地生產用於各種應用的先進材料,從半導體器件和光學元件到太陽能電池和LED照明。VEECO K465i反應堆建立在一個先進的可擴展平臺上,旨在提高性能和可靠性。這種Giga-Parsec™反應堆裝置具有先進的結構,具有卓越的控制和數據采集能力。利用加熱的石墨敏感器、高精度的4軸運動機和全紅外加熱線圈,可處理多達30種不同的先進材料。反應堆配有先進的控制工具,對工藝參數進行調整,以確保最佳材料質量。這是通過自動控制感應器溫度、石墨氣體流量和總壓力來實現的,具有很高的精度和可重復性。此外,註氣資產可用於最佳蝕刻工藝性能所需的均勻氣體流動條件。EMCORE K465i還具有石墨摩擦模型(GFS),該模型旨在控制和限制石墨對石墨的磨損。這確保了產品壽命長和可重復生產的先進材料。K465i反應堆的設計旨在通過將高性能和可靠運行與免維護運行和易用性相結合,為用戶提供卓越的生產工藝體驗。這種先進的反應堆設計具有先進的安全特性,確保即使在危險環境中也能運行。此外,這一設備被設計為使用標準的無氟氯化碳制冷劑,減少了其全球碳足跡。總體而言,VEECO/EMCORE K465i反應堆是一個強大、可靠和高效的生產系統。該反應堆的設計是為了滿足先進材料工業的需求,重點是生產率、準確性和可重復性。
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