二手 VEECO / EMCORE K465i #293585758 待售

VEECO/EMCORE K465i反應堆是一種最先進的材料電子生產工具，設計用於半導體和其他行業的設備的批量生產。反應堆利用高壓等離子體，使離子植入裝置的生產成為可能。該工具具有主動區域控制（AAC），允許操作員控制植入參數。該設計還提供了出色的重復性和均勻性的填充。VEECO K465i反應堆設計為在（+）75和（-）75 kV之間的高電壓下運行。這允許高離子加速度，它為各種材料和溫度提供了廣泛的離子註入。該設計還包括對晶片進行多軸掃描，從而能夠產生各種各樣的有源區域形狀。此外，該工具采用了XP-27沈積系統和DC-450疏散室，在高真空條件下提供了良好的晶圓清潔度。EMCORE K465i反應器還配備了增強光子源（EPS），用於紫外線照明。這種來源使得矽、GaAs和GaN等材料能夠進行廣泛的環境結晶過程。該工具還提供高達8,000個離子/cm2的高峰值離子通量,即使在最小的亞微米特征尺寸下也能實現高通量。K465i反應器還提供自動晶圓跟蹤，以促進工具操作的高度精確度。它包括廣泛的晶圓映射功能，可以識別晶圓的精確空間位置，並自動為每次曝光選擇最佳參數。這樣可以減少預先校準所需的時間,並確保最大產量。VEECO/EMCORE K465i反應堆還具有先進的嵌入式用戶界面，可簡化設置和操作過程，並提供有關工藝參數、設備診斷和其他關鍵性能指標的可靠信息。該工具還帶有一個軟維護系統，使操作員可以實時查看操作情況，從而使支持更加容易。總體而言，VEECO K465i反應堆是一種優秀可靠的生產工具，非常適合大容量晶片的工業生產。其廣泛的特點使其成為大批量生產和可重復質量結果的理想選擇。