二手 VEECO / EMCORE K465i #293587159 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種用於制造半導體材料和器件的反應堆。它是一種化學氣相沈積（CVD）設備，為各種應用提供高質量和可靠的結果。它將一個工藝室、兩區石英升華源、雙質量和兩種VEECO火炬模式整合為一個系統。該工藝室尺寸為2英尺，是VEECO K465i裝置的主要壓力容器。腔室配備了真空機、過程壓力感應、控制能力。石英升華源由源和排氣系統組成，位於腔室內部和底部。兩區石英結晶源使放置在室內的材料汽化，並在材料加熱時產生均勻的溫度分布。這提供了整個基板區域的均勻溫度，從而提高了膜的均勻性。EMCORE K465i的雙質量工具允許在一個區域進行高溫反應，在另一個區域進行低溫反應。EMCORE火炬模式利用磁場在保持穩定壓力和溫度的同時，產生均勻的前體氣體流動。這樣可以確保獲得準確的結果。K465i反應器還具有監測各種底物溫度、壓力和氣相色譜讀數的能力。此外，該資產還配備了可自動調節最佳工藝參數的受控壓力範圍。該模型還包括高級數據歸檔、圖形和映像功能,允許用戶一目了然地監視流程性能。總之，VEECO/EMCORE K465i是一種高效的反應堆，為各種制造應用提供可靠的結果。它具有工藝室、兩區石英升華源、雙質量設備和VEECO/EMCORE火炬模式。它的監控功能和高級數據管理功能為用戶提供了確保流程結果一致和準確的能力。