二手 VEECO / EMCORE K465i #293608318 待售

VEECO/EMCORE K465i反應堆是一種多塗層、高功率的光學外延生長設備，設計用於生產光電材料。該系統是半導體技術行業兩個全球知名創新者成功合作的結果。VEECO K465i具有加熱的陶瓷敏感器,可在1625°C的溫度下運行,並具有大型不銹鋼反應室,非常適合各種生產工藝。該裝置能夠處理多種底物，如GaAs、InP和AlGaAs，並為MBE和MOCVD工藝提供一個通用、均勻的沈積環境。它還具有許多專門的功能，旨在促進快速和精確的外延增長，包括內部氣流控制、晶圓位置傳感器、機器上自動清洗和熱墻結構。EMCORE K465i由高級運動機器支持,該機器包括一個獨特的雙級升降機,它允許磁感器進行2軸或3軸移動,並使用步進電機進行原位陣列。此外，離子植入可以通過一個集成的離子源單元來實現，該單元提供了一個均勻的深度剖面，並且不需要單獨的植入器。K465i還配備了一個強大的控制軟件套件，使用戶能夠方便地編程和控制反應堆的室內條件、過程和配方。軟件還包括一套先進的信號分析工具，允許對反應堆腔室和晶圓條件進行實時監測。總體而言，VEECO/EMCORE K465i反應堆為那些尋求高性能、適於市場使用的光學器件的人提供了可靠、經濟高效的解決方案。該工具具有定制沈積參數的多種選擇以及強大的安全性和可靠性，非常適合生產各種光電材料和組件。