二手 VEECO / EMCORE K465i #9043781 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9043781
MOCVD-GaN system, 6"
K465i GaN MOCVD Reactor
K465i Heater Assembly
Wafer Handling Assembly
Laminar Flow Hood
Ebara ESA-25D Pumps
User Interface Swing Arm
Rotary Transfer Assembly
Electronics Control Module
Circuit Breaker Panel 380 VAC
Supply Gas Sub-Assembly
GaN Standard 2xN2, 1xH2 regulator, 2 N2/H2 outputs
All bubblers as quoted
All Slices as quoted
Liquid Refigerator Baths
In-Situ Monitoring System
DRT 210 Real time In-Siture monitor systems
Integrated Electronics Assembly
Model Based Temperature Control
Flow Flange Lift Kit
SECS/GEM
Spare Wafer Carriers 5x6 Qty. 2
MV Particle Filter Maintenance Kit
Filament Maintenance Kit Gen IV Out
Filter Cart Assembly MV KF40
Pyro Kit
Systems utilize shared scrubber, scrubber not included
CE Mark
Tool is currently powered down and main lines are disconnected
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i是一種高性能、分子束外延（MBE）的工具，設計用於復合半導體的研究、開發和生產。該反應堆為高速光電IC、數據通信設備、傳感器和LED設備等應用提供了廣泛的增長能力，包括AlGaAs、InGaAs和InP。VEECO K465i是VEECO在其MBE反應堆系列中最新推出的產品，對於那些尋找先進、高精度MBE工具的人來說是絕佳的選擇。EMCORE K465i配備了高容量、多區域的大氣控制設備，可以精確修改溫度和氣體成分，沿整個晶圓提供均勻的環境。該系統為升華和後續生長過程中的底物提供了最佳環境，也有助於最小化缺陷的形成。K465i還具有用於精確基板運動的4點采樣階段。此外，還可以選擇源系統，包括Knudsen細胞、電子束和積液細胞。VEECO/EMCORE K465i提供5 mTorr的基本壓力，而系統可以安裝渦輪分子泵，以達到更低的壓力，如1 mTorr和0.1 mTorr。這種低基壓有助於在生長過程中減少汙染的可能性。VEECO K465i還包括真空樣品和快門控制，以提高工藝的可重復性。該單元配有專用軟件，便於直觀控制，軟件提供了操作MBE機的圖形用戶界面。EMCORE K465i提供了一種高級、高度模塊化的工具,使其非常適合需要準確控制增長規則的應用程序。這座反應堆還可以配備各種應用的全方位配件。這包括用於超清潔生長的低溫淋浴系統、沈積監測系統和用於高度可重復狀態維護的負載鎖。K465i是一個高度通用的MBE工具，非常適合生產和研究。
還沒有評論