二手 VEECO / EMCORE K465i #9045105 待售

VEECO/EMCORE K465i體現了高效等離子體加工設備的現代進步。這座先進的工業反應堆結合了VEECO和EMCORE這兩個市場領先者的卓越性能和特點，創建了一個全面和完全集成的設備，以顯著提高各種電子和材料應用的工藝吞吐量。VEECO K465i的設計目的是提供強大和可靠的處理能力,它能夠以高吞吐量速率運行詳盡的蝕刻（無介電、鈍化金屬）和沈積（CVD）工藝。其強大的開放式設計為任何自定義流程開發和控制提供了最大的靈活性,確保了陡峭的學習曲線,並最大限度地縮短了上市時間。EMCORE K465i具有革命性的專利設計,具有兩個獨特的處理室。這些腔室裝有多個電磁源線圈，可提供高達512安培的功率和提供高達500W功率的射頻波導。這種強大的電源配置提供了多用途的加工靈活性，使這種反應堆能夠以遠遠超出常規管式反應堆的速率，以極好的均勻性處理高達300 mm的底物尺寸。熱電冷卻室可防止底物晶片在蝕刻過程中發生不良反應，從而提高底物的產率和通量。此外，閉環過程控制系統提供全面的實時過程控制和監控，確保了最終產品的全面定制。此閉環監視單元可防止由於人為錯誤或意外的材料特性而導致的意外過程漂移。K465i還具有高級診斷和機器保護功能。先進的診斷傳感技術使用戶能夠在規範範圍內看到流程實際在做什麼。這在減少停機時間和支持生產成本控制和產量優化方面特別有用。此外,該工具的創新安全系統確保安全可靠的操作,即使在高功率密度下運行也是如此。VEECO/EMCORE K465i是先進反應堆技術的一個很好的例子，因為它為廣泛的工業加工應用提供了最終的成本效益。緊湊的占地面積、高度的靈活性和資產安全性使其成為等離子處理需求的首選之一。