二手 VEECO / EMCORE K465i #9172349 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於執行各種薄膜工藝。這種特殊類型的反應堆基於冷壁設計，主要用於光電子學/光子學相關行業。VEECO K465i設計具有廣泛的功能，可以將有機和無機材料沈積在各種基板上，如CMOS、玻璃、SiC和GaAs。反應堆支撐的基板尺寸可達8英寸。它由各種部件組成，包括一個主體、一個工藝室、一個敏感器、一個氣體輸送系統以及一大堆電源和控制器。EMCORE K465i的鋁體提供機械支撐，而工藝室則用於容納和疏散反應物和反應產物。為了在沈積過程中牢固地固定和加熱花藥底物，在反應室頂部附有一個可調敏感器。氣體輸送系統由質量流量控制器（MFC）和流量計組成，為前體和其他反應物氣體提供精確的計量和控制。一組電源控制流經反應堆加熱元件的電流，而控制器負責提供所需的溫度。最後，K465i室還配備了許多監測系統，如四極質譜儀（QMS），以確定腔室氣體的成分，以及用於監測薄膜厚度的反射儀。總體而言，VEECO/EMCORE K465i反應堆為光電子/光子學工業提供了一種負擔得起的可靠的CVD沈積工藝。VEECO K465i具有廣泛的功能和可調節的元件，適用於各種復雜的薄膜工藝。