二手 VEECO / EMCORE K465i #9214755 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種用於薄膜沈積過程的堅固、可靠且用途廣泛的熱壁、低發射率電子束氣相沈積（EBPVD）反應器。VEECO K465i配備了用於調節和控制壓力、溫度和加工氣體的集成分級設備。這使用戶能夠在各種材料上以精確和可重復的方式存放非常薄的薄膜。EMCORE K465i系統利用強大的電子束源,可以達到高達5nm/s的高沈積速率。原位光學診斷單元有助於提高薄膜生長過程的可重復性和重復性。機器還提供了高度的過程均勻性，在基板上的任何一點薄膜生長和過程定制任何特定的應用。K465i的熱墻設計使其非常可靠耐用。熱墻設計也有助於保持室內溫度穩定，提高薄膜生長的均勻性，讓你從運行到運行一致的結果。VEECO/EMCORE K465i在其腔室結構中還采用了堅固耐火材料的新型組合，有助於減少材料在基板上的任何重新沈積，並提供高水平的耐熱性和穩定性。VEECO K465i反應堆設計有真空密封室和各種端口，用於安裝過程控制傳感器和其他外部控制裝置。該工具還具有原位過程診斷功能,可提供實時的膠片表征。這有助於在整個過程中保持一致的薄膜,並提供快速反饋,使工程師能夠根據不同的處理需求調整參數。除了優異的性能外,EMCORE K465i維護效率低,使用方便.它沒有活動部件，數字溫度控制技術使操作和設置變得簡單。直觀的圖形用戶界面（GUI）控制著完整的沈積過程，從基板制備到沈積後冷卻和基板去除。總體而言,K465i是實驗室或工業應用中薄膜生長操作的理想選擇,因為它具有魯棒性、可靠性和多功能性。