二手 VEECO / EMCORE K465i #9227000 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種高性能蝕刻反應堆，設計用於各種領域。它是利用氣體化學和密集電子轟擊相結合的低壓等離子體裝置。這種反應器是一種中空陰極操作的裝置，具有可重復、均勻的蝕刻輪廓，性能卓越。VEECO K465i是一種多晶片蝕刻反應堆裝置，能夠同時處理多達四個3英寸晶片。它有一個負載鎖定模塊和一個用於晶片裝卸的盒式磁帶托盤，帶有一個自動驅動器和一個接口端點檢測器。反應堆裝有場發射電子槍構造，可在晶圓級提供靜電屏蔽。氣流的控制和蝕刻的均勻性可以由用戶設定和調整。它還能夠進行批量深反應離子蝕刻（DRIE）。此DRIE創建一個負傾斜的側壁角度,在一定壓力和功率條件範圍內,縱橫比的蝕刻速率均勻。EMCORE K465i利用先進的多氣體控制系統來減少過程鑒定所需的時間並降低維護成本。除了多氣體控制，可以儲存多種配方，用於不同的應用。它還具有無化學區的特點，並采用直排快門法控制來自排氣的背壓。這種多功能設備具有主動排放監測功能,可確保系統的安全和高效。其低壓平臺利用蝕刻屏障和全基板高度控制，創造出均勻的蝕刻和最小的超時和停機時間。K465i是尋求可靠、經濟實惠的蝕刻解決方案的用戶的理想選擇。它兼具高性能和易用性,是各種應用程序的理想選擇。