二手 VEECO / EMCORE K465i #9227304 待售

VEECO/EMCORE K465i反應器是一種高溫等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備。該系統旨在以快速和可重復的方式提供均勻和高密度的電介質膜沈積。它特別適用於MEMS制造、薄膜太陽能電池制造、納米晶體合成等應用。VEECO K465i采用雙RF發生器技術，允許使用低基板偏置電壓的高溫直接加熱基板。這就造成了低碟形、高均勻性、高質量的薄膜沈積。標準腔室配置最多可容納四個6英寸和八個3英寸的敏感器晶片。這種高容量使得各種應用能夠對不同類型的薄膜進行高通量的工藝優化和優化。PECVD過程通過精確控制等離子體化學、腔室壓力、底物溫度、射頻功率等參數來調節。它具有+/−0.3°C的溫度測量能力，可以在每個晶片上均勻重復薄膜沈積。此外,EMCORE K465i還提供了一個集成的過程控制單元,可準確監控性能並優化過程。基於熱電偶的端點電路現場監測沈積速率，用於精確控制端點光學器件。這使得對薄膜組成和晶體結構的控制得到改善，從而提高了所得材料的性能特性。K465i還提供一系列標準和定制的負載鎖以及所有其他相關組件,以確保最高的生產率和過程穩定性。它旨在滿足用於半導體和MEMS設備制造過程的PECVD系統的嚴格性能標準。它是一種可靠、堅固的機器，可用於潔凈室和工業研發（R&D）設置。總之，VEECO/EMCORE K465i反應器是一種先進的PECVD工具，能夠實現介電、含矽和其他納米結構膜的高質量、均勻沈積。它允許對諸如溫度、射頻功率、腔室壓力和等離子體化學等工藝參數進行可靠和可重復的控制。通過其集成的過程控制資產和基於熱電偶的端點光學，該模型提供了最大的生產力和可靠的性能。