二手 VEECO / EMCORE K465i #9229288 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種金屬有機化學氣相沈積反應器（MOCVD），設計用於液相外延（LPE）和氧化物/氮化物基沈積。VEECO K465i是一種高通量工具，非常適合LED、集成光學、薄膜晶體管（TFT）等工業多層應用。本文介紹了一種具有獨立控制氣體前體和動態反應區的量身定制的氣體分配設備，以實現薄膜沈積的最大均勻性，以及用於優化吞吐量和產率的自動化過程控制軟件。EMCORE K465i是一個分管垂直MOCVD反應堆，有一個四英寸乘兩英寸的反應堆管。利用水平和垂直氣流在整個晶圓中均勻生長。基板加熱可以達到700 °C，溫度可以通過直接加熱系統和裝有溫度傳感器來保持均勻性。其三級渦輪泵能夠為活性物質冷凝和高效的反應性氣體輸送提供高水平的真空。K465i進一步補充了高精度自動晶片傳輸裝置、控制反應堆壓力和流量的自動壓力平衡機、定制的提升機構以及用於精確沈積控制的自動氣體測序。它配備了高吞吐量和高質量的硬件組件，如棱鏡晶體、原位監控、自動陰影掩蔽和光譜工具。VEECO/EMCORE K465i還包括一個排氣洗滌器，以減少環境中的氣體汙染物。VEECO K465i的設計旨在提供一個可靠、可重復和可靠的工具,以準確高效地產生大量的同質層。其先進的功能使其成為尋求經濟高效且用途廣泛的MOCVD資產的客戶的理想選擇。