二手 VEECO / EMCORE K465i #9233939 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種離子植入工具，設計用於半導體工業。它是一種用途廣泛的高通量反應器，利用各種元素的離子來修改底物的物理和電性能。反應堆的能量範圍從0.5到750 KeV不等，植入率高達1.25e12 at/cm2/min。這樣可以精確控制植入物在基質中的劑量和深度，以及植入元素的類型。反應器由真空室、離子源、百葉窗和探測器系統組成。真空室包含1x10-8 Torr的真空，允許離子註入基質。離子源包含各種能量下的Ar、Cs、Xe、N等元素，使離子得以正確植入。百葉窗控制離子束，確保精確掃描和準確植入。探測器系統監視繪圖模式，以實現精確掃描，並能夠準確測量要植入的區域。VEECO K465i是一種模擬模糊邏輯型計算機控制器，有助於保持該工具的正常運行。控制器還用於微調光束功率和電流輪廓，以達到所需劑量。控制器還監視整個系統並自動調整離子加速度。該工具具有多通道晶圓映射器，允許各種異步植入和順序植入選項。它配備了高分辨率的離子光學系統，允許實施高級掃描策略，如細線掃描、2D-overlays和偏移植入。該系統還可以在整個晶片上實現均勻植入。該工具專為快速周轉和易於維護而設計。安全功能如可關閉的艙蓋、緊急按鈕和帶式傳送帶鎖都包括在內，以便安全操作。該工具的構建考慮到維護,易於訪問多個組件和輕松交換部件。該工具還具有植入物的在線維護和文檔記錄功能,以確保正常運行。EMCORE K465i是一種先進的高通量反應器，適用於半導體生產。K465i具有可調光束能量、高分辨率離子光學器件和多功能映射器，能夠精確控制植入劑量和植入深度，適用於不同的應用。該工具還具有易於維護和安全的功能,以實現可靠的操作。