二手 VEECO / EMCORE K465i #9241368 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種先進的電感耦合等離子體分析工具，用於研究和分析半導體材料的性能。該實驗室級反應堆設計用於研究應用，可用於測量、分析和試驗各種半導體材料。VEECO K465i是一種高峰值功率、高壓感應耦合等離子體基反應器，優化用於深蝕刻、蝕刻、沈積和退火實驗的電極級處理。它利用獨特的圓形導電天線幾何形狀，提高等離子體耦合效率和功率傳遞到腔室的基板。EMCORE K465i具有創新的雙壓力結構和兩個獨立維持的壓力區域,具有優異的工藝重復性和強大的設備性能。它能夠產生高能密度等離子體，用於高密度源優化和臨界維度習慣控制應用。這些等離子體可以用實時激光燒蝕幹涉光譜儀連續監測，以精確控制等離子體化學和組成。此外，K465i是為高通量生產而設計的，它包含一個大面積的平行板電極，用於高效的材料工藝分布和均勻性。VEECO/EMCORE K465i包含一系列強大的功能和功能,以滿足嚴格的研究需求。這些特點包括用於精確和可重復過程控制的可調壓力加濕和疏散系統，用於高級精確過程定時的線性LFM（線性頻率調制）發生器，以及一整套計量能力。該反應器包含一個溫度平衡的腔室，以確保基板和工藝溫度一致，從而獲得最佳性能。最後,VEECO K465i包括一個完整的自動化系統,用於快速高效的實驗設置和控制.它配備了一個計算機控制的機器人樣品處理單元，可以同時處理直徑1.27厘米的圓形晶片和最大x厘米的大型設備²基板。此外,專有的基於Windows的自動化機器可以方便地進行數據采集和控制,而集成的光學工具可提供詳細的成像和分析以進行實驗表征。總體而言,EMCORE K465i是一種功能強大、基於等離子體的高級分析工具,具有多種功能和特點。它是研究人員和技術人員需要先進和可重復的半導體器件研究和分析過程的理想工具。