二手 VEECO / EMCORE K465i #9273446 待售
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VEECO/EMCORE K465i是一種高度先進的電子束反應器，設計用於制造半導體、光學和其他先進的微加工應用的高精度加工。它具有多種強大的增強功能,包括4軸運動控制設備,允許控制和精確對齊掃描模式。由此產生的高速沈積和蝕刻工藝可以提供非常準確和可靠的制造結果。在其核心，VEECO K465i利用先進的電子束技術，產生高能電子束的強烈、高度聚焦。該束隨後通過一系列漂移管加速，在那裏被迫與氣態源物質相互作用。然後由電子束激發和加速原料，產生反應產物，隨後沈積在基材上。這個過程使得沈積控制非常精細，最終導致更高的產量，更好的均勻性，和更低的缺陷率。EMCORE K465i可以在高達500 mA的高電流範圍內操作，最小光束直徑為1 μ m，每小時最多可達到10晶圓的吞吐量。先進的4軸運動系統能夠容納直徑不超過6英寸的晶片,厚度不超過0.015毫米,最小光束對準公差為0.5 μ m。該單元還可以配置為啟用等離子體增強或聚合物塗層工藝。在安全方面，K465i反應堆采用多種措施保護人員免受輻射。其中包括先進的安全聯鎖機、停電工具以及用於監控水溫和壓力的自動化資產。綜上所述，VEECO/EMCORE K465i是一種可靠、精確的電子束反應器，設計用於各種先進制造應用的高精度加工。其強大的4軸運動模型、高通量和500 mA的最大電流使其成為生產精密設備的理想工具。此外，其先進的安全措施和自動化的監測設備確保了可靠和安全的運作。
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