二手 VEECO / EMCORE K465i #9274047 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種用於制造薄膜半導體的反應器。它由VEECO Instruments和EMCORE Corporation開發，作為微電子和光電子制造的下一代工具。VEECO K465i是一種單室混合版本反應器，利用感應耦合等離子體（ICP）和射頻（RF）功率將薄膜沈積在各種基板上。它是一種用途非常廣泛的工具，能夠沈積各種各樣的材料類型，從矽基化合物到奇特的金屬絕緣體化合物。EMCORE K465i是一個全自動系統,可輕松編程,以適應不同組合的基材尺寸、工藝溫度、壓力條件、氣體混合物以及射頻和ICP功率。該系統還允許對壓力、溫度、射頻、ICP功率、氣流等工藝參數進行現場監控。K465i反應堆結合了許多不同的組件，包括一個工藝室和一個氣體箱。該工藝室包含一個磁感器，用於在沈積過程中支撐基板，以及一個射頻線圈和工藝氣體。燃氣箱包含一個供氣單元以及各種閥門和閥門控制器。VEECO/EMCORE K465i的模塊化配置允許它量身定制各種生產工藝，從光電器件等高價值、低批量的產品到大批量、低成本的電子產品。VEECO K465i的其他好處包括其廣泛的工藝集成選項、快速輕松的工具轉換、提高工藝控制和穩定性以及提高產量。總體而言，EMCORE K465i是薄膜半導體生產的創新和強大工具。它堅固可靠,易於使用,其多用途的配置和先進的過程控制功能使其成為滿足各種生產需求的絕佳選擇。