二手 VEECO / EMCORE K465i #9276024 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種低功率電子束（e-beam）沈積反應器，用於材料在半導體和微電子器件制造中的薄膜沈積。利用閉環磁控管濺射工藝，VEECO K465i反應堆是研究和開發以及商業沈積工藝的理想選擇。反應堆的國松型電子槍，允許的離子化氙氣產生等離子體，以及所需膜材料的低壓濺射沈積。這款電子槍配備了自動孔徑對準，產生了最佳沈積參數和平穩運行。反應堆由一個腔室、一個基板加熱床、一個電子槍、一個基板卡盤和一組四極磁體組成。EMCORE K465i反應器的真空室由不銹鋼或鋁構成，並與真空泵和渦輪泵耦合，達到1 µtorr或更小的底壓。反應堆內部有電子束設備，包括電子槍組件、集電極和磁透鏡。該系統用於產生一個快速移動的細束電子束，像緩慢移動的掃描儀一樣掃描樣品。基板加熱床由帶熱電偶溫度傳感器的電阻加熱器組成。這允許最大基板溫度為400攝氏度，可通過溫度控制單元進行調節。K465i反應器還具有相對於電子槍上下移動的平坦基片卡盤，為樣品表面提供均勻和可重復的加熱。反應堆的四個四極磁體用於引導電子，形成穩定、聚焦的光束。這有助於提高沈積過程的均勻性和準確性。通過控制磁控管濺射的功率，可以改變沈積速率。電子束機的硬件包括多種安全特性，如過溫防護、總功率監控、電壓電流穩定等。VEECO/EMCORE K465i電子束反應器具有多種特性和功能，是薄膜沈積工藝的理想工具。VEECO K465i反應器具有優化的電子束掃描和優異的均勻性，是半導體和微電子制造的寶貴資產，可用於研究、開發和商業沈積。