二手 VEECO / EMCORE K465i #9315632 待售

VEECO/EMCORE K465i是一個先進的工藝反應器，設計用於沈積薄膜，用於開發太陽能電池、其他光伏設備、平板顯示器和MEMS。這座反應堆配有集成的垂直磁控管和微波源，並基於Prodigi™過程的設計。VEECO K465i具有較高的沈積均勻性、較高的沈積吞吐量和較低的缺陷水平.EMCORE K465i的微波源可實現不受環境影響的高功率等離子體羽流的瞬時生成,並提供最佳的沈積速率、組成和層均勻性。K465i的開陰極設計是薄膜太陽能電池優化的理想選擇。它包括一個垂直磁控管和一個專門設計的用於沈積的微波源。這允許在工業中已知的最密集的等離子體下以快速的沈積速率運行。VEECO/EMCORE K465i設計用於低溫薄膜的清潔、重復處理和精確沈積。該系統包括先進的等離子體源和先進的控制電子設備.先進的光源能夠產生高功率等離子體，提高薄膜沈積精度。控制電子設備提供精確的脈沖寬度、功率和等離子體氣體控制。VEECO K465i還配備了全面的圖形用戶界面（GUI）。該GUI旨在提供沈積參數的清晰詳細的概述以及沈積過程等離子體照片的近乎實時的顯示。EMCORE K465i的設計考慮到了緊湊、便攜式和節省空間的便利性。該系統可在多種環境下操作，包括實驗室、工業和半導體生產。此外，K465i還配備了低流量條件自動關閉功能、應急惰性氣體填充器、CO2滅火器、模塊化設計的安全殼區域等多項安全功能。VEECO/EMCORE的多功能性、可靠性和耐用性K465i使其成為太陽能電池、平板顯示器和MEMS開發中薄膜沈積的理想選擇。優越的沈積均勻性和高吞吐量率提高了用戶的生產率和吞吐量。開放式陰極設計、先進的控制系統、全面的圖形用戶界面和安全系統相結合，使其成為尋求卓越產品的客戶的綜合沈積平臺。