二手 VEECO / EMCORE K465i #9352112 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種電感耦合等離子體（ICP）反應器，設計用於復合半導體和光電材料的集成技術開發和生產。這項尖端技術利用射頻功率和流體功率的精密組合，產生高溫等離子體和反應性氣體。它具有非常低的聲響水平和較小的占地面積，使其適合用於研究實驗室、大學和工業制造。VEECO K465i具有兩個射頻源，在13.56 MHz時功率輸出範圍為75-600瓦，在27.12 MHz時功率輸出範圍為1-125瓦。它還具有可調功率斜坡速率，用戶可以精確控制氣體和離子密度。該裝置采用特殊的屏蔽設計來減少磁性和磁性靜電幹擾，使其在生產過程中的應用具有一致性和可靠性。EMCORE K465i設計最多可使用13種氣體、2種液體和1種固體成分。它具有過程控制功能,包括壓力、溫度和離子能量,使其能夠在廣泛的過程條件下運行,從而為用戶提供靈活性和控制力。通過添加第二個射頻源,可以方便地修改此單元以進行沈積和蝕刻過程。K465i是一種高級系統,運行成本低,同類系統的吞吐量是同類系統的三倍。完全集成的設計確保維護任務保持在最低限度,並且設備附帶高級熱管理控制算法。這樣可以防止熱量的分配和由於熱梯度而造成的工藝氣體的損失。總體而言，VEECO/EMCORE K465i為光電材料加工提供了先進的晶圓技術。它具有高功率多功能性、優化的加載和卸載時間以及非常小的占用空間。它是一種可靠的高性能儀器，非常適合研究和生產應用。