二手 VEECO / EMCORE K465i #9363426 待售

VEECO/EMCORE K465i是一種射頻（RF）反應性離子蝕刻反應器設備，設計用於先進電子器件的精密微制造。該系統采用射頻電源、高密度等離子體源、一系列蝕刻氣體以及計算機控制的精密硬件和軟件的組合，在玻璃、矽、藍寶石等多種材料上提供高精度、高分辨率的蝕刻性能。VEECO K465i基於混合、磁增強的微波等離子體工藝,可提供高質量的蝕刻,並具有低PMMA侵蝕和最小化的微載荷。它配備了先進的等離子體源，采用了受控極性轉換機制，在等離子體源和底物室創造了一個健壯的、高密度的等離子體。該源經過精心設計，可提供高均勻性和高化學選擇性，從而實現最佳蝕刻輪廓。EMCORE K465i具有很高的可重復性,這意味著可以在同一工件上運行多個蝕刻過程以獲得統一的結果。它還具有在整個蝕刻區域內蝕刻變化不大的大面積的能力。該裝置的環境控制允許精確的壓力和溫度水平，而一個健壯的氣體管理機器支持自動氣體混合，以實現最好的蝕刻化學。K465i配備了先進的計算機控制硬件和軟件工具，可提供可重復、高精度的蝕刻結果。資產還配備了一系列射頻電源，使用戶能夠用不同的蝕刻氣體蝕刻，並設定特定的蝕刻參數。該模型還提供了廣泛的基材材料，從標準金屬到異國情調的材料，因此幾乎可以解決任何應用問題。VEECO/EMCORE K465i RF反應性離子蝕刻反應器設備的設計考慮到了靈活性和精確度。其先進的硬件和軟件系統旨在使用戶在各種材料上實現高精度、高分辨率的蝕刻結果。其強大的氣體管理系統和環境控制確保了最佳蝕刻化學。該裝置的射頻電源範圍，加上它能夠蝕刻大面積和低變化的蝕刻區域，確保本機是理想的任何微制造應用。