二手 VEECO / EMCORE K465i #9364537 待售

VEECO/Ecore VEECO/EMCORE K465i是一種高性能射頻（RF）等離子體反應性離子蝕刻（RIE）反應器。該設備非常適合廣泛的應用，如蝕刻高長寬比結構、圖案化聚合物、蝕刻藍寶石和金屬精密蝕刻。VEECO K465i技術旨在確保精密和質量控制的完美蝕刻效果。它基於最新的基於等離子體的RIE技術，利用無線電頻率激發等離子體。等離子體的高級射頻形成確保了精確、可重復的蝕刻結果。集成的等離子體輪廓控制技術提供了對過程的精確控制。EMCORE K465i配備了專有的EMCORE/Ecore技術,可實現最大的蝕刻均勻性和高縱橫比結構。這是由於其獨特的電極設計，其特點是電極腔與一個角度的插槽。這提供了更大的蝕刻面積。它還附帶了該公司的專利原子傳輸機制，高效，可重復蝕刻。K465i設計用於在各種頻率和壓力下運行。這個範圍允許系統處理廣泛的材料，如金屬、陶瓷和聚合物。該單元還配備了先進的音頻電壓表（VFM）和壓力控制器，以確保適當的控制和監控。VEECO/EMCORE K465i的自動負載鎖定機提供快速、可重復的處理,無需任何夾具或步驟。該工具具有快速蝕刻的高湧入電流能力。可以將資產編程為可使用各種晶圓大小和形狀。VEECO/EMCORE/Ecore VEECO K465i是一種可靠的蝕刻反應器，帶有最新的蝕刻技術。它設計用於精密加工的高速蝕刻工藝。它配備了高縱橫比結構的斜槽、先進的音頻電壓表（VFM）和自動負載鎖定系統等功能。這使得它非常適合廣泛的應用在蝕刻，圖案，和精密蝕刻。