二手 VEECO / EMCORE K465i #9402610 待售

VEECO/EMCORE K465i雙棒反應器是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）系統。該系統有兩個區域：基板區域和源區域。基板區包含負載鎖，可同時處理兩種基板，最多可容納六種尺寸達200毫米的基板。源區包含載氣供應，並將反應物氣體引入底物，使材料分解形成所需的膜或層。這種反應器可以處理具有多種沈積參數的材料，從低沈積速率到高沈積速率的過程。由於其在基板上的360度加熱，它提供了特殊的沈積均勻性和靈活性。基板由預設或可編程位置繪圖儀獨立於源進行管理。這允許高精度陣列。VEECO K465i利用水平和垂直加熱線實現良好的均勻性和溫度控制。該系統允許高級流程控制,如氣流、壓力、射頻和偏置功率控制,以及高級安全功能。EMCORE K465i還具有獲得專利的石英晶體微量平衡（QCM）,可提供精確的原位化學成分分析。K465i設計用於加工多種先進材料，包括高溫材料和氧化物，如摻鋁氧化鋅（AZO）、非晶矽（a-Si）和硒化鎘（CdSe）。它設計用於薄膜晶體管、太陽能電池和光電探測器的開發和生產。VEECO/EMCORE K465i是一個下一代反應堆，它以緊湊可靠的包裝提供前所未有的性能、靈活性和控制水平。它可靠且易於使用,具有直觀的觸摸面板控件和方便用戶的軟件,可實現簡單的設置和操作。它還包括改進過程監測和定制工具控制的一整套實驗室工具。