二手 VEECO / EMCORE K465i #9411980 待售

VEECO/EMCORE K465i反應堆是材料科學、納米技術和其他一系列領域的許多研究和制造過程的強大而高效的工具。它是一個最先進的等離子體蝕刻系統，旨在對諸如蝕刻速率、各向異性、選擇性和端點控制等參數提供精確和可重復的控制。VEECO K465i是一種緊湊的垂直式反應堆，非常適合許多商業和實驗室應用，因為它提供了一種靈活的配置，最多可容納三個過程模塊和源模塊，一個負載鎖，以及整體渦輪泵送和真空監測能力。EMCORE K465i是一種反應性離子蝕刻（RIE）系統，一級反應如Ar等離子體、SF6等離子體、氧等離子體等可以部署到各種材料上蝕刻。該裝置提供了良好的工藝控制、配方設計、原料選擇和主泵啟動。圖形用戶界面、面板視圖顯示和可編程邏輯控制器為蝕刻的化學控制方面提供了全面的控制界面。K465i的組件包括靜電卡盤、防護罩和集成離子束源。內部組件的設計支持<20KV的蝕刻過程,最大蝕刻速率高達32nm/min,並且具有允許高分辨率蝕刻的功能。靜電卡盤和防護罩有助於確保過程的重復性和精確度，減少元件的加載時間和移動。VEECO/EMCORE K465i提供廣泛的材料沈積服務，包括化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）和蒸發。這些服務可用於沈積廣泛的材料，包括金屬、合金、電介質和半導體。這些工藝還提供了對蝕刻各向異性、特征控制和精度的出色控制。除蝕刻和沈積功能外，VEECO K465i還提供了一些優化工藝的選項，包括負載鎖、專用離子源和光電離功能。負載鎖定允許可重復和受控的樣品加載，而專用離子源提供更高的蝕刻速率和改進的重復性。光電離功能旨在提高工藝分辨率並提高樣品兼容性。總體而言,EMCORE K465i是廣泛研究、制造和工業應用的絕佳選擇。它靈活的配置和廣泛的功能使其成為一臺高度通用的機器,並有可能改變材料的設計和使用方式。結合其出色的功能、控制功能和可重復性,K465i是任何希望提高流程效率和準確性的人的強大工具。