二手 VEECO / EMCORE K475 #9315631 待售

VEECO/EMCORE K475是專門為生產半導體和光電元件而設計的電子束（電子束）離子註入反應器。它能夠對各種離子束能量和強度分別為10 keV至40 keV和1 mA至4 mA的底物進行高精度和大面積摻雜。VEECO K475設計有一個分離式真空室，其中頂室包含離子源、加速結構和噴射器槍；下室設有梁線、樣品裝載站和目標站臺。它還包括一個預先電離的90°彎曲到光束線，這允許操作員精確調整光束的電流和電壓。EMCORE K475設計為在目標基板上提供最大光束均勻性，從而確保均勻植入。它配有可調準直儀，將光束精確聚焦在基板上。此外,自校準監視器系統控制光束電流、光束強度和光束均勻性,以確保最佳、可重復和一致的植入。為了防止不需要的離子沈積和減少汙染，K475具有汙染控制能力。它有一個離子快門和密封的腔蓋，使操作員能夠控制腔室的內部壓力。此外，還提供了一個可選的離子吸收泵，用於對腔室進行額外的工後清洗。VEECO/EMCORE K475是生產高需求半導體和光電元件的靈活工具。它速度快、效率高、精度高，能夠生產分辨率高達1 μ米的高精度植入物。其穩健的設計、精密的控制和極高的精確度，使其適合於半導體、光電、航空航天和軍事應用的工業和科學應用。