二手 VEECO / EMCORE TurboDisc 300 II GaN #9245320 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc 300 II GaN反應器是一種專業化的、最先進的生產工具，設計用於氮化移動物（GaN）和基於III組氮化物的外延層的生長。VEECO TurboDisc 300 II GaN反應堆在其工藝室內采用先進的高效超旋風噴嘴，以盡可能高的吞吐量實現可靠和經濟的增長。其可調壓力控制器提供了對腔內壓力的精確控制，使得厚膜生長速度比前幾代GaN反應堆快得多，非常適合大批量生產。此外，EMCORE TurboDisc 300 II GaN反應堆是專為在惡劣的工業條件下可靠運行而設計的，具有易於維護的全金屬結構設計。TurboDisc 300 II GaN Reactor還具有先進的高溫範圍、光學隔離的熱解石墨敏感器,可保持晶圓表面的溫度均勻性。其溫度性能與旋風波紋管擴散系統相結合，導致了特殊的粒子控制，從而減少了缺陷的產生。此外,TurboDisc 300 II采用前置開口設計,允許在工藝室和冷卻板之間輕松快速過渡。這打開了先進的工藝可能性，如增加摻雜劑濃度，減少沿生長表面的熱擴散，改善等離子體均勻性和更好地控制表面化學。VEECO/EMCORE TurboDisc 300 II GaN反應堆也得益於先進的高光譜技術，為各種生長層的可視化提供了最高分辨率。這項技術提供了生長過程中GaN層的實時視圖,從而能夠高度精確地控制層的均勻性和厚度。最後，由於VEECO TurboDisc 300 II GaN反應堆系統具有強大的工藝前和工藝後表征能力，它還提供了前所未有的工藝診斷能力，使操作員能夠在整個生產過程中進一步了解各種化學和結構參數。總體而言，EMCORE TurboDisc 300 II GaN反應堆是一種強大可靠的生產工具，旨在優化GaN層的生長效率和均勻性，使基於GaN的材料工業化生產成為可能。
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