二手 VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474 待售

VEECO TurboDisc E450低密度金屬（LDM）反應堆是一種商業工具，用於物理汽化金屬，用於半導體器件和結構。這座高性能反應堆在高真空環境下運行，利用微波能量進行加熱、氣相沈積和氧化。該過程首先將所需金屬的「原料」裝入反應堆的石英晶片敏感器，然後能夠以精確、一致的方式達到很高的溫度。E450 LDM反應堆能夠在動態操作下達到5nm/s的沈積速率，並利用射頻加熱或直流電加熱來達到這些高溫。最重要的是,TurboDisc設計中的恒定沈積參數使用戶能夠重復相同的沈積過程來創建在均勻性方面相同的結構。E450 LDM反應堆設備中包括的先進原位清洗技術在石英晶片敏感器和系統其他部件的清潔中發揮著不可或缺的作用，以防止任何類型的汙染發生。這種原位清潔技術利用氯氣和氮氣的來源，確保將最優質的材料沈積在所需的層中。E450 LDM反應堆還提供了高效電隔離的便利。這意味著，無論外部環境發生任何變化，反應堆都能以穩定的方式運行，確保始終如一地取得最高質量的結果。此外，E450 LDM反應堆不需要頻繁維修和保養，這意味著用戶可以長時間運行反應堆，而不會造成機組發生故障的風險。該機還包括一個再循環冷卻工具，以保持整個資產在任何時候最佳的工作。EMCORE TurboDisc E450低密度金屬（LDM）反應堆是一種易於使用的高性能工具,非常適合需要金屬汽化的廣泛應用。其先進的原位清洗方法，高沈積速率，電隔離，使其成為尋求一致可靠沈積模型者的理想選擇。