二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #293601651 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN Reactor是一種可靠而強大的沈積設備，專門設計用於高性能的氮化氙（GaN）處理。它使任何人都能在每一個過程中獲得可重復和一致的結果。該系統采用TurboDisc （TD）技術,該技術結合了水平和垂直磁化器旋轉以及獲得專利的DualRF™控制,可最大程度地減少刀具和工藝中的總足印。TD技術提供了跨所有工藝熱點的均勻性和可重復性,以及高通量冷卻,從而優化了工藝時間。該K465i使用四位盒式磁帶,在使用石英平頂磁化器時具有最大的靈活性。這座反應堆配備了先進的過程控制和監控能力，包括自動可變基板偏置（AVSB）控制和快速熱控制（RTC）。AVSB控制允許將高達350°C的均勻沈積到對溫度敏感的基板上,而RTC則允許室內各個部件的溫度,同時將其他部件保持在均勻的溫度下。該K465i還配備了一個自動工藝室清洗裝置，該裝置將清潔和濃縮氫氣和氮氣物質的劑量精確對準腔壁，防止任何物質積聚和不均勻。這臺機器可以很容易地配置多種沈積源，如高純度氣體（HPG）、原子束源（ABS）、電子回旋共振（ECR）源，允許最大的靈活性和多用途的沈積剖面。此外，K465i嵌入了20nm的溫度控制精度，保證了任何過程室內的高溫均勻性。該K465i用於GaN研發和大批量生產。它用戶友好、用途廣泛、可靠，在各個方面都提供了較短的周期時間和出色的層均勻性。而且，憑借其安全特性，如工藝氣體的實時泄漏檢測，以及機械部件的安全互鎖工具，K465i保證了安全和性能的最高標準。