二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375120 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一種外延反應堆，設計用於生產各種應用中的特殊材料。它具有高效的ECR輔助微波等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）模塊,可精確控制薄膜生長特性。對等離子體進行連續監測，以確保在加工過程中的最佳沈積速率和特性。反應堆配備了一個高頻源，允許兩個功率級別和多頻設置的可選輸入，允許一個可調可控的環境。高頻源確保了一致和穩定的處理環境，從而在整個晶片上形成了統一的沈積輪廓。VEECO TurboDisc K465i GaN提供了最大的工藝靈活性和改進的加工窗口,允許一次生產復合半導體和介電材料。具有較高的薄膜均勻性和沈積率，以及對晶體結構和薄膜性能的精確控制。反應堆的優越均勻性使得它非常適合生產GaN和SiC材料。反應堆可以配備實時監測設備，以確保準確的實時監測和數據收集，以便在沈積過程中進行更大的過程控制。除了生產特殊材料的高效性能外，EMCORE TurboDisc K465i GaN還配備了多種安全功能，以防止操作過程中意外過熱或損壞。它的安全系統包括一個過載保護單元，一個警報來提醒操作員潛在的危險，以及一個獨特的溫度限制檢查機，旨在保護反應堆和防止災難性的故障。該模塊配備了超壓工具，可防止在操作過程中積聚氣體壓力，並有助於確保最佳工藝條件。TurboDisc K465i GaN是生產要求最高性能水平的復合半導體和介電材料的理想外延反應堆。其自動化能力、工藝參數的精確控制以及全面的安全特性，使其成為生產優質材料的可靠高效選擇。