二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375121 待售

VEECO TurboDisc K465i Nitrium Nitride（GaN）反應器是一種微波裝置，設計用於氮化物復合半導體材料的外延生長。設備配備了兩個K465i的GaN反應堆，使其成為一個強大可靠的兩室生產工具。K465i反應堆將基於速調管的最先進的微波技術與先進的計算機控制和監測相結合。通過這種組合，能夠提供高精度的微波配電、監測和控制，從而在晶圓上產生最佳均勻性，促進低溫。K465i反應器還具有可控的底物溫度範圍-10°C至+450°C和加熱石英管,從而無需側壁加熱線圈。由於可變聚焦、均勻腔輻射模式和線性可變場分布，該K465i能夠在大基板尺寸上均勻生長。V形腔設計提供廣角覆蓋，使整個外延層的均勻性得到改善，而數字控制系統實現了更好的濾波器控制。先進基板加熱裝置（ASHS）允許精確的熱預算控制，而無需惰性氣體排放，因為晶圓在無氧環境中加熱。ASHS還提供完整的數字溫度控制、更精確的基板溫度測量以及自動調整,以確保獲得最佳效果。其他功能還包括先進的鎖定機,它允許各種配置具有全面的靈活性,以及非接觸式電氣互鎖插針,以防止異物意外進入。K465i GaN反應堆還配備了微波功率監測系統，以確保有效的微波傳輸和精確的功率耦合。此外，該接收器還具有真空感應端口，能夠實時監控和極高的絕對壓力精度。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反應堆是生產高質量外延晶片的可靠而有力的工具。提供優化的均勻性、精確的溫度控制、優異的基板加熱和先進的數字控制系統。這些特性使得它成為任何復合半導體外延工程的理想選擇。