二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375123 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN（氮化超）反應堆是一種先進的外延設備，設計用於處理各種先進的微電子材料。該反應堆利用均勻的層沈積技術，生產出多種復雜而精確的器件，如SMART-MEMS、電力電子、LED和其他光電元件。VEECO TurboDisc K465i GaN是一種高溫外延反應器，配置用於沈積具有優越結構和電氣性能的大範圍外膜和復合材料。該系統采用了可調節的溫度曲線以最大限度地提高均勻度,並采用了溫度和壓力傳感器來增強過程監測和控制。該單元提供精密、可重復、高通量性能的優越晶體品質產品，最高可達200毫米/分鐘。它還能夠與廣泛的前體一起操作，包括矽烷、有機金屬源、氫化物以及其他氮和III類化合物。為便於高效操作和精確控制，該機配備了兩臺用於GaN沈積的獨立射頻發生器以及蝕刻和沈積室。該工具還具有先進的氣體輸送資產、精密泵送技術和用於精確氣體輸送的渦輪分子泵。此外,該模型與行業標準的設計工具兼容,以方便設備設計和信號分析。此外,該設備還采用自適應背側壓力（ABP）技術,提高了薄膜的均勻性.ABP允許快速和不間斷的晶片處理,以減少總循環時間,並最大限度地減少前體和氣體消耗,從而節省運營成本。結合先進的安全功能,EMCORE TurboDisc K465i GaN專為有效的操作和性能而設計。利用多種故障安全方法和用戶警報功能,系統始終致力於確保操作過程中的安全。總體而言，TurboDisc K465i GaN反應堆是一種先進的外延裝置，其設計最精確、最有效地生產出各種復雜、精確的微電子結構。具有卓越的晶體品質、可調節的溫度輪廓和適應性的背側壓力，這臺機器是打造極其精確和專業的結構的理想選擇。