二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375128 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一種將先進GaN功率半導體材料的外延生長效率和能力相結合的反應堆。對於傳統的SiC和GaN工藝,K465i的底物尺寸可達8英寸,高效可靠。該設備利用最先進的DirectView Optics和自動化機器人，通過單面或雙面化學氣相沈積（CVD）工藝產生卓越的材料利用率。該K465i采用堅固耐用的垂直多區CS-II高溫爐，采用冷墻技術，精度和多功能性最高。高效的加熱/冷卻操作可以穩定兩層,並實現多層處理。高級控制器設計用於調節溫度或壓力,以及確保每個單獨層的準確目標值。該K465i還具有詳細的過程控制界面（PCI）,可讓用戶訪問計算機輔助設計（CAD）程序中的自定義配方。此訪問允許快速的系統調試和初始性能表征,同時還可以用於編程流程參數和其他設置,例如單元壓力。該單元還配備了一個快門，便於單晶片或雙晶片配置的晶片交換。該設備設計用於生產,具有業界領先的可靠性和魯棒性,同時還提供了出色的可重復性和當前均勻性。再者，K465i支持先進結構的開發，如3D、異質結構和高導電通道。該K465i利用強化的安全系統，並得到長期服務合同的支持，包括預防性維護服務，以確保機器得到積極維護，並在較長時間內表現最佳。憑借這些先進的功能和支持,VEECO TurboDisc K465i GaN是希望生產卓越外延GaN材料和結構的組織的完美解決方案。