二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375129 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是為生產高品質薄膜而設計的高性能等離子體反應器。該反應器能夠在可再現的過程中在大面積上沈積高質量、高溫均勻的薄膜。TurboDisc利用先進的電源產生直流或脈沖供電的等離子體。該等離子體被送入一個獨特且高度均勻的熱反應圓盤（TRD）源，從而可以更好地控制等離子體特性。反應堆的設計目的是在高達20平方厘米的面積上保持一致的功率輸出，從而最大限度地減少薄膜的不均勻性。TurboDisc的高性能特性意味著它可以處理等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和低溫沈積（LTD/ALD）中使用的任意數量的氣體。也可用於在沈積過程中引入多種摻雜劑或催化劑，從而實現過程控制。反應堆裝有非常精確的溫度控制和均勻系統。這樣就可以在大面積上實現精確和可重現的薄膜沈積，並具有出色的熱均勻性。溫度傳感器內置在傳感元件中，提供準確和實時的過程讀數。TurboDisc還有一個嵌入式控制系統，允許完全集成和過程控制。它可以用廣泛的參數進行編程,以便自動、可重復地生產膠片。精確測量和控制關鍵工藝參數的能力保證了薄膜的質量和一致性。TurboDisc還配備了先進的安全功能，確保嚴格的安全標準，並確保可重復、統一、優質的輸出。這使得反應堆能夠在任何生產環境中安全、一致地運行。總體而言,VEECO TurboDisc K465i GaN是一種功能強大且可靠的反應堆,可提供增強的過程控制、統一的溫度控制和可靠的過程再現性。它旨在提供具有可重復產量的高質量、均勻的薄膜。堅固可靠的設計確保了安全高效的沈積過程。