二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375131 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反應器是一種高溫化學氣相沈積（HTCVD）工具，設計用於制造基於氮化的化合物半導體器件。該K465i將兩個高功率、恒流反應性氣體模塊與一組高級控件結合在一起，提供了一個復雜而健壯的CVD環境。該K465i是一個全金屬、全氣體反應模塊，在底物表面具有均勻的溫度分布。利用其專有的氣體流動輸送系統，K465i能夠精確控制反應性氣體在整個腔室中的分布，同時保持均勻的溫度。這種流動模式的動態控制確保了均勻的反應環境，這對於生產高質量的GaN晶體至關重要。該K465i設計為高度可靠和高效,具有快速冷卻和啟動時間。它利用自動室內清潔系統，通過盡量減少手動清潔的需要來減少停機時間。這與壽命長的陰極相結合，降低了維護成本，提高了工藝穩定性。該K465i具有廣泛的工藝控制功能,適合研究和生產各種新一代設備。利用高精度質量流控制器（MFC）技術,用戶可以精確設置工藝參數,從而創建多種GaN結構。該K465i還支持使用多步驟流程，從而進一步提高其準確性和可變性。K465i是生產VCSEL、激光器、LED和其他需要最高性能和準確性的設備的理想選擇。其先進的特性允許均勻沈積，並能夠精確控制設備的表面輪廓和電學/光學性能。憑借其強大而高效的設計,K465i提供了無與倫比的性能和易用性,使其成為高質量GaN晶體沈積的絕佳選擇。